在基于石英晶體的測(cè)量系統(tǒng)中，監(jiān)測(cè)晶體的選擇直接決定了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性與穩(wěn)定性。尤其在嚴(yán)苛的工藝環(huán)境下，為您的應(yīng)用選擇適合的 INFICON 晶體至關(guān)重要。 以太陽(yáng)能電池制造為例，大面積鍍膜常采用濺射工藝，并通過(guò) QCM （石英晶體微量天平）實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)膜厚以確保均勻性。但挑戰(zhàn)在于：濺射過(guò)程產(chǎn)生的大…
